贝塔射线检测仪β射线通过滤膜时，能量发生衰减，通过对衰减量的测定计算出颗粒物的质量，根据采样流量、采样时间和滤膜面积来计算实际状态下环境空气中颗粒物的浓度。

贝塔射线扬尘监测设备可自动测量和记录浓度，采用的是贝塔射线吸收法的工作原理，将C-14作为发射源，其发射恒定的高能量电子，样品空气通过切割器以恒定的流量经过进样管，颗粒物截留在滤膜上。

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