超低cems烟气监测系统由气态污染物（SO2、NOX、02等）监测、颗粒物监测、烟气参数（温度、压力、流速等）监测及数据采集与处理4个必选子系统组成。CEMS一般由烟尘监测子系统(粉尘)、气态污染物监测子系(SO2、NOX)烟气参数监测子系统(温度、压力、流速、O2)、系统控制及数据处理子系统四个基本部分组成。

烟气排放自动监测设备气态污染物监测采用抽取式冷凝法+磷酸滴定法预处理，其原理是利用紫外差分法测量烟气中的SO2、NOX含量，通过电化学法测量湿氧含量，然后通过干湿转化计算出SO2、NOX、02的干烟气浓度，磷酸滴定发预处理可以有效减小冷凝除水时SO2的吸附损失，提高测量准确度。

cems烟气在线分析仪颗粒物监测采用抽取式测量法，烟气的温度采用温度传感器测量，烟气压力采用压力传感器测量，烟气流速采用皮托管测量；将所有的测量信号送入数据采集与处理系统。由气态污染物（SO2、NOX、02等）监测、颗粒物监测、烟气参数（温度、压力、流速等）监测及数据采集与处理4个必选子系统组成。

超低cems烟气监测系统颗粒物监测采用抽取式测量法，烟气的温度采用温度传感器测量，烟气压力采用压力传感器测量，烟气流速采用皮托管测量；将所有的测量信号送入数据采集与处理系统。

cems烟气在线监测系统其原理是利用紫外差分法测量烟气中的SO2、NOX含量，通过电化学法测量湿氧含量，然后通过干湿转化计算出SO2、NOX、02的干烟气浓度。